EBARA 日本荏原 EV-M 系列重載耐腐多級(jí)羅茨干式真空泵玉崎科學(xué)原裝現(xiàn)貨

更新時(shí)間：2026-06-04

點(diǎn)擊次數(shù)：107

EBARA 日本荏原 EV-M 系列重載耐腐多級(jí)羅茨干式真空泵（原裝日本進(jìn)口?重制程旗艦款）

EV-M正面實(shí)拍

一、產(chǎn)品定位概述

EV-M 是荏原全系列最高負(fù)載、強(qiáng)腐蝕專(zhuān)用水冷干式羅茨真空泵，對(duì)標(biāo)半導(dǎo)體重腐蝕蝕刻、LPCVD/HDP-CVD/MOCVD/ALD等高副產(chǎn)物、含鹵素酸性氣體嚴(yán)苛工況，區(qū)別：

EV-S：輕載風(fēng)冷、潔凈 / 微量腐蝕
EV-X：中載螺桿、通用蝕刻 CVD
EV-M：重載水冷、強(qiáng)腐蝕 + 大量粉塵副產(chǎn)物制程
全機(jī)型標(biāo)配水冷 + 內(nèi)置分區(qū)伴熱溫控 + 標(biāo)準(zhǔn)防腐材質(zhì)，全系列無(wú)油干式，50/60Hz 頻率下抽速恒定，取得 SEMI-S2、CE、NRTL 半導(dǎo)體安全認(rèn)證，日本原廠整機(jī)進(jìn)口

二、全系列主流型號(hào)參數(shù)（N = 標(biāo)準(zhǔn)防腐款、SF = 強(qiáng)防腐特氟龍款）

型號(hào)	標(biāo)稱(chēng)抽速 (L/min)	極限真空 (Pa)	極限功率 (kW)	冷卻	進(jìn)水流量 (L/min)	進(jìn)氣法蘭	整機(jī)重量 (kg)
EV-M20N	108~130	≤5.0	1.2	水冷	3~5	KF40	55
EV-M102N	10000	≤0.5	1.8	水冷	3~8	ISO80	320
EV-M202N	20000	≤0.5	1.9	水冷	3.5~8	ISO100	360
EV-M302N	30000	≤0.5	2.3	水冷	4~8	ISO100	400
EV-M502N	50000	≤0.5	2.1	水冷	5~8	ISO100	500
EV-M802N	80000	≤0.5	2.8	水冷	5~8	ISO160	740
EV-M1202N	110000	≤1.0	4.5	水冷	6~10	ISO200	980

SF 系列：EV-M505SF/805SF，內(nèi)腔全 PFA 特氟龍涂層，強(qiáng)耐 HF、高濃度氯系腐蝕氣體。

三、五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、腔體伴熱控溫

泵腔分段獨(dú)立溫控伴熱，整機(jī)高溫恒溫運(yùn)行，杜絕 NH?Cl、SiO?、金屬鹽副產(chǎn)物冷凝粘附泵腔，大幅延長(zhǎng)保養(yǎng)周期 3~5 倍，解決重制程堵泵通病。

2、出廠標(biāo)配防腐結(jié)構(gòu)

N 標(biāo)準(zhǔn)款：轉(zhuǎn)子 / 腔體鎳基合金 + Ni-P 化學(xué)鎳鍍層，原生耐受 HF、HCl、Cl?、NF?、硅烷等半導(dǎo)體腐蝕尾氣；
SF 高配款：內(nèi)腔全特氟龍 PFA 涂層，適配超高濃度強(qiáng)酸、強(qiáng)腐蝕工藝。

3、重載大流量 + 氫氣抽氣優(yōu)異

多級(jí)非接觸羅茨結(jié)構(gòu)，H?氫氣抽氣效率遠(yuǎn)優(yōu)于螺桿泵（EV-X），適配 MOCVD、半導(dǎo)體外延、ALD 富氫制程；大氣壓直抽，無(wú)需前級(jí)泵串聯(lián)。

4、智能變頻節(jié)能

搭載荏原自研怠速休眠控制，空載 / 待機(jī)自動(dòng)降轉(zhuǎn)速降功耗，重負(fù)載滿(mǎn)功率輸出，同工況比傳統(tǒng)干泵省電 30%+；自帶故障自診斷、運(yùn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)。

5、緊湊水冷小型化

整機(jī)集成水冷回路，無(wú)需外置獨(dú)立油箱，占地面積小于同抽速競(jìng)品，適配 Subfab 緊湊機(jī)房布局，運(yùn)行噪音 65~72dB (A)。

四、后綴規(guī)格釋義

N（標(biāo)準(zhǔn)防腐）：市面主流現(xiàn)貨，內(nèi)置多路 N?氮?dú)夥创低ǖ溃瑯?biāo)配防粉塵吹掃，常規(guī)蝕刻 / PECVD ；
SF強(qiáng)防腐：全腔體 PFA 特氟龍內(nèi)襯、加強(qiáng)氮?dú)舛嗦反祾撸邼舛取?qiáng)堿腐蝕專(zhuān)用；
無(wú)后綴基礎(chǔ)款：普通鍍鎳，僅潔凈無(wú)腐蝕氣體，極少備貨。

五、可選配套配件

多路氮?dú)獯祾呖偝桑∟/SF 標(biāo)配）、氣鎮(zhèn)閥（高水汽工況）；
前置粉塵捕集罐、冷凝回收罐、排氣洗滌過(guò)濾器；
Modbus-RTU 通訊模塊（對(duì)接產(chǎn)線(xiàn) PLC 遠(yuǎn)程聯(lián)控）、獨(dú)立外置水冷機(jī)組。

六、細(xì)分應(yīng)用行業(yè)（選型指引）

1、EV-M20N/M102N（小抽速）

小型 ALD 設(shè)備、RTP 快速熱處理、實(shí)驗(yàn)室 MOCVD、小腔體 LPCVD

2、EV-M202/302N（爆款主力）

量產(chǎn)線(xiàn)干法蝕刻、PECVD、SACVD、LED 芯片外延、光伏管式 PECVD

3、EV-M502/802/1202N（大流量重載）

HDP-CVD、大功率 MOCVD、第三代半導(dǎo)體 SiC/GaN 外延、面板量產(chǎn)線(xiàn)集中真空系統(tǒng)

七、EV-M / EV-S / EV-X 三系列簡(jiǎn)明選型對(duì)照表

機(jī)型	泵結(jié)構(gòu)	冷卻	適用工況
EV-S	多級(jí)羅茨	全風(fēng)冷	潔凈 / 微腐蝕、LoadLock、PVD 預(yù)抽（輕載）
EV-X	干式螺桿	風(fēng)冷 / 水冷	常規(guī)蝕刻、CVD、灰化（中載通用）
EV-M	重載羅茨	全水冷	強(qiáng)腐蝕、大量副產(chǎn)物、MOCVD/ALD（重載重腐蝕）

八、采購(gòu)渠道

玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司原裝現(xiàn)貨供應(yīng)

地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號(hào)電商集團(tuán)7樓整層玉崎科學(xué)

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理

EBARA 日本荏原 EV-M 系列 重載耐腐多級(jí)羅茨干式真空泵玉崎科學(xué)原裝現(xiàn)貨

EBARA 日本荏原 EV-M 系列 重載耐腐多級(jí)羅茨干式真空泵（原裝日本進(jìn)口?重制程旗艦款）