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產品型號：EV-X200N
更新時間：2025-07-10
廠商性質：代理商
訪問量：306
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日本EBABA荏原風冷式干式真空泵可離子注入
日本EBABA荏原風冷式干式真空泵可離子注入
這款用于中等負載工藝的干式真空泵配備了荏原的節能技術，采用了模塊化設計，針對自動化工廠的制造進行了優化，以進一步實現小型化和節能。
寬范圍溫度控制擴展了應用過程。 使用同一臺機器覆蓋多個過程的能力優化了備用機器庫存，降低了維護和培訓要求，并為未來的過程擴展提供了靈活性。 此外，每個過程的最佳溫度控制提高了工藝阻力，延長組件更換周期有助于減少 TCoO。
適用應用示例：各種蝕刻、CVD、灰化、離子注入、外延生長等。
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈
NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪
WATSON深江化成、TORAY東麗、3U
優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、EBABA荏原、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學 、ULVAC愛發科
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮
HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光
SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、RIKEN理研
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川
SEKONIC世光、ADVANTEC東洋等
