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產(chǎn)品型號：PR510
更新時(shí)間：2026-01-05
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：223
服務(wù)熱線158-1555-0998
產(chǎn)品分類
跨境現(xiàn)貨Yamato雅馬拓等離子反應(yīng)堆
跨境現(xiàn)貨Yamato雅馬拓等離子反應(yīng)堆
用于晶圓光刻膠的桶型高頻低溫等離子體
這是一臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)型桶式低溫等離子設(shè)備。它是一款緊湊型桶式等離子處理設(shè)備，標(biāo)配自動(dòng)匹配機(jī)構(gòu)，并采用觸摸屏（PR510），以提高操作性和安全性。
配備大直徑（φ215mm）石英腔室
緊湊型，集成振蕩器和腔室單元
易于操作的觸摸面板系統(tǒng)（PR510 型）
●光刻膠去除
●部件清洗
●表面活化處理
●微拋光
●兼容晶圓和玻璃基板
| 產(chǎn)品代碼 | 215012 |
|---|---|
| 模型 | PR510（質(zhì)量流量計(jì)規(guī)格） |
| 方法 | DP槍管類型 |
| 控制單元高頻輸出 | 功率 500 瓦 |
| 控制單元振蕩頻率 | 13.56MHz |
| 控制單元同步方法 | 自動(dòng)調(diào)校 |
| 反應(yīng)段反應(yīng)罐 | 由石英制成，直徑215毫米，厚度305毫米。 |
| 反應(yīng)段反應(yīng)氣體系統(tǒng) | 2 個(gè)系統(tǒng)（O 2 /CF 4） |
| 反應(yīng)段控制系統(tǒng) | 觸摸面板自動(dòng)序列 |
| 反應(yīng)段管道材料 | SUS，特氟龍 |
| 外形尺寸和重量 | 請參閱規(guī)格說明 |
| 內(nèi)部尺寸（直徑 x 深度） | φ215×305mm |
| 外部尺寸（寬 x 深 x 高） | 520×630×760毫米 |
| 功率容量 | 三相交流200V 8A 斷路器容量和15A電源容量 |
| 重量 | 70公斤 |
代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈
NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗
優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計(jì)器
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機(jī)
SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等
優(yōu)勢產(chǎn)品：日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈
變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、氧氣濃度計(jì)、焊接機(jī)、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計(jì)、膜厚計(jì)、恒流泵、采樣泵、PH計(jì)、水分計(jì)、地震測試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測儀、接近開關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測儀、應(yīng)變測試儀、拉針儀、水平測試儀，離心機(jī)等
