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進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

產品簡介：

進口ULVAC日本愛發科 A2K-40K 脈沖和直流電源系統
進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

Name: 進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統A2K-40K
Brand: ULVAC/日本愛發科
Price: 8000 CNY
Availability: InStock

產品型號：A2K-40K

更新時間：2025-11-12

廠商性質：代理商

訪問量：169

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158-1555-0998

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ULVAC日本愛發科

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進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

脈沖和直流電源系統
脈沖單元 _A2K系列Model: A2K

ULVAC

A2K 系列作為直流電源的外部單元提供，是一種防止異常放電的單元，可將直流輸出轉換為脈沖輸出并中和目標上的電荷。

A2KH-25U
A2K-20K/40K

特點

通過減少異常放電，可以輸入高功率。
可以減少電弧引起的基板損傷。
可連接現有設備 *1
A2KH-25U：1kHz ~ 20kHz，A2K-20K/40K：1kHz ~ 50kHz
可同步多個A2K單元的輸出脈沖 *2 *3
A2K-20K 和 40K 最多可并聯運行 6 臺。

應用：脈沖同步系統

進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

當陰極在同一腔室中彼此靠近且陰極彼此相對時，或者當多個 A2K 的放電發生干擾時，可以通過將 A2K 的反向脈沖設置為同一相位來使用相位控制功能來防止放電的干擾 *3 *4

*1：可連接到我們的直流電源
*2：無法通過混合 A2KH-25U、A2K-20K 和 40K 進行脈沖同步和并聯操作
*3：A2KH-25U 需要外部同步單元（PHSM/PHSS）
*4：A2K-20K/40K 需要光同步電纜（Pulse link 電纜）

規格

Model		A2KH-25U	A2K-20K	A2K-40K
控制電源輸入	輸入電壓	單相的 AC90-110V	單相的 AC100-240V
	輸入電容	100VA 或更低	400VA 或更低
輸入規格	工作電壓	-100～-800V
	工作電流	25A	50A	100A
	額定輸入功率	10kW	20kW	40kW
輸出規格	振蕩頻率	1k-20kHz	1k-50kHz
	反向電壓脈沖寬度	5μs/10μs　通過內部開關切換	3μ-18μs（振蕩頻率是有限的）
	操作模式	連續/1 脈沖/路徑
	輸出格式	Single Target
冷卻方式		強制風冷
外形尺寸（W×D×H）不包含突起		238×450×149（mm）	480×630×177（mm）
質量		16kg	30kg	45kg
適合規格		RoHS（歐洲）	CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲）

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脈沖和直流電源系統
脈沖單元 _A2K系列Model: A2K

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