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原裝ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

產品簡介：

原裝ULVAC日本愛發科 SG-10-4 脈沖和直流電源系統
原裝ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

Name: 原裝ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統SG-10-4
Brand: ULVAC/日本愛發科
Price: 8000 CNY
Availability: InStock

產品型號：SG-10-4

更新時間：2025-11-12

廠商性質：代理商

訪問量：207

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158-1555-0998

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PRODUCT CLASSIFICATION

ULVAC日本愛發科

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產品介紹

原裝ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

兼具可靠性和穩定性的雙陰極支持LF電源

脈沖和直流電源系統
LF電源_SGModel: SG

ULVAC

它專為等離子體生成而設計，例如 LF 電源、雙陰極濺射、等離子體CVD等，并且可以連續輸出20kHz至100kHz頻率的額定功率，用于等離子體負載。它是一種高度可靠的電源，通過在設計中體現我們多年積累的專業知識，包括電源的應用，非常適合等離子負載。

特點

您可以以1kHz為增量從20kHz到100kHz設置振蕩頻率。 *1
可以在不改變變壓器抽頭的情況下輸出到規格的輸出范圍。
可進行脈沖輸出控制。
外部模擬控制、控制器控制等是標準設備，可通過 OPTION 進行S232C、RS485和EtherCAT等各種控制。

*1：輸出電壓/電流根據頻率設定條件有限制。

規格

Model		SG-10-4
輸入規格	輸入電壓	3相 AC380-440V
輸入規格	輸入電容	13.2kVA 或更低
輸出規格	最大額定功率	10kW
	額定電流	32A
	額定電壓	1000Vrms
	振蕩頻率	20k-100kHz
控制	控制精度	± 100W（電壓 30V 或更高，電流 1.5A 或更高）其他條件適用
	控制保修范圍	額定功率值的 10-100%（電壓 30V 以上，電流 1.5A 以上）
	外部控制	模擬/數字、串行通信（RS232C 或 RS485）、EtherCAT（可選）
冷卻方式		水冷：7 L/min 或更高
外形尺寸（W×D×H）不包含突起		483×500×177（mm）
質量		40kg
適合規格		CE、SEMI F47、RoHS（歐洲）

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脈沖和直流電源系統
LF電源_SGModel: SG

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